USM-1300型超高真空低温矢量磁场扫描隧道显微镜，由日本Unisoku（优尼索库）公司设计并制造，2018年8月正式投入使用。该设备利用He3制冷循环原理使扫描隧道显微镜在300mK的极低温环境中工作，同时通过三维超导磁体可在垂直方向上施加9T的高磁场，水平方向上施加各2T的磁场并可以在样品上施加10GHZ的高频电场。该系统目前主要用于低维材料的超导性质探索、拓扑超导性质开发、马约拉纳费米子的寻找等相关课题的研究中。

综合真空互联平台是自制用于一体化低维量子材料生长、器件加工和测试的真空系统，主要由：1)变温扫描隧道显微镜系统（已完成并投入使用）；2)材料原位生长平台（三台分子束外延设备，已完成并投入使用）；3) 原位电极制备和综合测试平台（一台原位器件制备设备，一台LEED，一台综合测试系统，已部分建设完成）；3) 机械剥离样品制备系统（两台手套箱和机械剥离样品制备和转移系统组成，建设中）；4) 可分离真空系统（两台分离型MBE，分离型光/铁电测试系统、低温样品杆测试系统，两台真空传样小车等组成，建设中）组成。该平台预计于2022年初可全部建成并投入使用。

低温扫描隧道显微镜系统是由德国Createc公司设计并制造，目前处于正常使用状态。该系统最低可至5K温度，同时配备Q-plus AFM的功能，可用于研究样品的局域电子态特性和超导特性。该机器目前主要用于新型二维材料的开发和研究工作。

卡西米尔效应开发平台的主体部分由本原公司的原子力显微镜改造而成，该显微镜同时还配有导电力显微镜、纳米操作和液相显微镜等功能。

光铁电综合测试平台由：1) 高温功能性光电探针台；2) 真空气体吸附光电测试系统；3) DSC分析仪；4) LCR测试仪；5) 铁电测试分析仪组成。

该CVD系统主要用于煤炭制备石墨烯的工业开发。