实验室现拥有光学、电学、机械、X射线波前表征等多平台研究设备。
晶体腔加工平台
![](images/jingtiqiang.jpg)
本课题组具有自主设计搭建的一套以气浮轴承为核心的集成切削、磨抛、检测功能的一体化晶体谐振腔加工平台,分为气浮轴承控制系统、上位机综合控制系统、抛光液循环系统、无尘无水供气系统、表面光洁度检测系统。能够使用超光滑曲面抛光工艺加工出Q值超过10^8的毫米级CaF2、MgF2等晶体腔,在国内具有领先地位。
微焦点X射线光栅干涉测量平台
![](images/X-ray_platform.jpg)
为了研究工作波长下光学元件的高精度在线测量和波前表征技术,掌握波前表征、面形测量与光栅干涉实验关键技术。搭建了实验室级别的高分辨率 X 射线在线波前检测系统,表征 X 射线波前和检测光学元件 面形; 光路上分别利用一维和二维光栅, 算法上分别用莫尔条纹、相位步进方法检测 X 射线 波前畸变。
X射线聚焦镜磨抛加工平台
![](images/mopao.jpg)
锥形光纤拉制平台
![](images/zgxlz.jpg)
微腔耦合平台
![](images/wqoh.jpg)
微腔测试系统
![](images/wqcs.jpg)
微焦点X射线光源
![](images/X-ray10.jpg)
复眼标定机构
![](images/fybd.jpg)
射频溅射镀膜机
![](images/dmj.jpg)
皮米精度激光干涉仪
![](images/pm_laser.jpg)