光电信息技术实验室

本课题组具有自主设计搭建的一套以气浮轴承为核心的集成切削、磨抛、检测功能的一体化晶体谐振腔加工平台，分为气浮轴承控制系统、上位机综合控制系统、抛光液循环系统、无尘无水供气系统、表面光洁度检测系统。能够使用超光滑曲面抛光工艺加工出Q值超过10^8的毫米级CaF2、MgF2等晶体腔，在国内具有领先地位。

为了研究工作波长下光学元件的高精度在线测量和波前表征技术，掌握波前表征、面形测量与光栅干涉实验关键技术。搭建了实验室级别的高分辨率 X 射线在线波前检测系统，表征 X 射线波前和检测光学元件 面形; 光路上分别利用一维和二维光栅, 算法上分别用莫尔条纹、相位步进方法检测 X 射线 波前畸变。