样品制备


外延科技大哥

安装日期:2021年


外延科技RHEED小弟

安装日期:2022年


TSST荷兰人(Dutchman)

安装日期:2020年


沈阳大爷(Shenyang Uncle)

安装日期:2020年


沈阳小弟(Shenyang Bro)

安装日期:2003年


沈阳埃菲尔(Eiffel from Shenyang)

安装日期:2017年;改造日期:2021年


大连大哥(Dalian Dude)

安装日期:2015年;改造日期:2021年


磁控溅射

安装日期:2022年


萨恩斯腔体(Science Chamber)

安装日期:2004年


准分子激光器四台 (Coherent COMPex201)

安装日期:2020年



物性表征


振动样品磁强计

(Quantum Design MPMS3; 7 T; 1.8-400 K)

安装日期:2019年


物性测量系统

(Quantum Design Dynacool; 9 T; 1.8-400 K)

安装日期:2021年

X射线衍射(PANalytical Empyrean)

安装日期:2020年

原子力显微镜(MFP-3D Origin)

安装日期:2020年


参数分析仪 (Keithley 4200A-SCS)

安装日期:2020年


铁电分析仪 (Radiant Precision LC)

安装日期:2003年


磁力显微镜 (attoDRY2200)

安装日期:2023年


手动探针台系统

安装日期:2020年



器件制备


成都鑫南 G-25X 型高精密单面光刻机

安装日期:2020年


北京埃德万斯 IBE-100 离子束刻蚀

安装日期:2020年


纯水机 (和泰HHitech)

安装日期:2020年


等离子清洗机 (合肥科晶PCE-22-LD)

安装日期:2020年


多功能高精度二维材料显微转移系统 (E1-T)

安装日期:2024年


徕卡显微镜*2 (LEICA DM 2700 M)

安装日期:2020年


匀胶机 (POLOS)

安装日期:2020年


通风橱 (T2-FUME HOOD)

安装日期:2020年



靶材制备与样品退火


管式炉 (CARBOLITE 1500X)

安装日期:2005年


管式炉 (合肥科晶OTF-1200X)

安装日期:2020年


箱式炉 (合肥科晶KSL-1700X; 三台)

安装日期:2020年


真空炉 (合肥科晶KSL-1100X)

安装日期:2020年


烘箱

安装日期:2015年


压靶机

安装日期:2015年